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Large piezoelectricity on Si from highly -oriented PZT thick films via a CMOS-compatible sputtering/RTP process 期刊论文
Materialia, 2019, 卷号: Vol.5, 页码: 100228
作者:  Yingying Wang;  Hongbo Cheng;  Jing Yan;  Ning Chen;  Peng Yan
收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2019/12/17
Large piezoelectricity on Si from highly (001)-oriented PZT thick films via a CMOS-compatible sputtering/RTP process 期刊论文
Materialia, 2019, 卷号: 5
作者:  Wang Y.;  Cheng H.;  Yan J.;  Chen N.;  Yan P.
收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2019/12/11
One to 40 GHz ultra-wideband RF MEMS direct-contact switch based on GaAs MMIC technique 期刊论文
IET MICROWAVES ANTENNAS & PROPAGATION, 2018, 卷号: Vol.12 No.6, 页码: 879-884
作者:  Chu, CL;  Liao, XP
收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2019/12/26
Design of a high precision digital interface circuit for capacitive MEMS accelerometers with floating point 期刊论文
INTEGRATION-THE VLSI JOURNAL, 2017, 卷号: 59, 页码: 247-254
作者:  Li, Zongwei;  Xiong, Xingyin;  Liu, Xiong;  Han, Kedu;  Cong, Ning
收藏  |  浏览/下载：24/0  |  提交时间：2017/11/24
Applied system-level method in calibration validation for personal navigation system in field 期刊论文
IET SCIENCE MEASUREMENT & TECHNOLOGY, 2017, 卷号: 11, 页码: 103-110
作者:  Lu, Jiazhen;  Lei, Chaohua
收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2019/12/30
谐振式微型电场传感器芯片级真空封装及测试 期刊论文
电子与信息学报, 2015
毋正伟; 彭春荣; 杨鹏飞; 闻小龙; 李冰; 夏善红
收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2017/12/03
Fabrication and characterization of the functional parylene-C film with micro/nano hierarchical structures 其他
2015-01-01
Zhang, Xiao-Sheng; Su, Zong-Ming; Han, Meng-Di; Meng, Bo; Zhu, Fu-Yun; Zhang, Hai-Xia
收藏  |  浏览/下载：6/0  |  提交时间：2017/12/04
运用研磨和化学机械抛光技术制备高品质的石英薄膜 期刊论文
2013
曾毅波; 刘畅; 陈观生; 赵祖光; 郭航
收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2016/05/17
Modeling for the shock reliability of MEMS devices based on Weibull distribution 期刊论文
Jixie Qiangdu/Journal of Mechanical Strength, 2013, 卷号: 35, 期号: [db:dc_citation_issue], 页码: 015-021
作者:  Wang, Yongquan;  Chen, Hualing;  Zhao, Jianping;  Zhu, Zicai
收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2019/12/03
A trapezoidal cantilever density sensor based on MEMS technology 期刊论文
JOURNAL OF ZHEJIANG UNIVERSITY-SCIENCE C-COMPUTERS & ELECTRONICS, 2013, 卷号: 14, 期号: [db:dc_citation_issue], 页码: 274-278
作者:  Zhao, Li-bo;  Xu, Long-qi;  Zhang, Gui-ming;  Zhao, Yu-long;  Wang, Xiao-po
收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2019/12/10

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