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化学机械抛光设备负载特性与主体结构变形 期刊论文
2016, 2016
赵德文; 路新春; 何永勇; 王同庆; ZHAO Dewen; LU Xinchun; HE Yongyong; WANG Tongqing
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300mm晶圆化学机械抛光机关键技术研究与实现 期刊论文
2016, 2016
王同庆; 路新春; 赵德文; 门延武; 何永勇; WANG Tongqing; LU Xinchun; ZHAO Dewen; MEN Yanwu; HE Yongyong
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三阴极等离子体喷枪的数值模拟 期刊论文
2016, 2016
张东青; 郑丽丽; 张辉; Zhang Dongqing; Zheng Lili; Zhang Hui
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