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HiPIMS 金属/气体离子比的调控及其对TiN涂层性能的影响
学位论文
北京: 中国科学院大学, 2024
作者:
曾明亮
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提交时间:2024/06/03
高功率脉冲磁控溅射
TiN
等离子体特性
离子辐照
残余应力
氮含量对(BCSiAlCr)N_(x)薄膜结构和耐腐蚀性能的影响
期刊论文
真空与低温, 2023, 卷号: 29, 期号: 01, 页码: 28-35
作者:
闫巨擘
;
赖振国
;
张斌
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提交时间:2023/12/07
磁控溅射
耐腐蚀性能
硬度
(BCSiAlCr)Nx薄膜
力学性能
反应磁控溅射制备CrN涂层的热稳定性
期刊论文
表面技术, 2022, 页码: 1-12
作者:
金玉花
;
程融
;
柴利强
;
张学希
;
王鹏
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浏览/下载:28/0
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提交时间:2022/07/19
CrN涂层
反应磁控溅射
热稳定性
氧化行为
释放
扩散阻挡
溅射/液相合成制备MoS2复合薄膜的结构与摩擦学性能研究
学位论文
北京: 中国科学院大学, 2022
作者:
董春萌
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提交时间:2023/10/10
溅射MoS2薄膜,液相合成,悬键,纳米颗粒,摩擦学性能
磁控溅射非晶硅薄膜质量的测量
期刊论文
金属功能材料, 2022, 卷号: 29, 期号: 02, 页码: 20-27
作者:
杨淞婷
;
张海民
;
项羽杰
;
罗永春
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浏览/下载:15/0
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提交时间:2022/04/21
非晶硅薄膜
磁控溅射
质量标定
不确定度
脉冲频率对HiPIMS制备TiN薄膜组织和力学性能的影响
期刊论文
中国表面工程, 2022, 卷号: 35, 期号: 5, 页码: 192-199
作者:
高海洋
;
张斌
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提交时间:2023/12/08
高功率脉冲磁控溅射(HiPIMS)
脉冲频率
TiN薄膜
微观组织
力学性能
金属氮化物涂层的高温摩擦学研究进展
期刊论文
中国表面工程, 2022, 卷号: 35, 期号: 3, 页码: 48-63
作者:
赖振国
;
贾倩
;
张斌
收藏
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提交时间:2023/12/08
氮化物涂层
磨损率
多层氮化物
电弧离子镀
磁控溅射
摩擦因数
基底的晶向和氧化层厚度对坡莫合金薄膜的影响
期刊论文
真空科学与技术学报, 2021, 卷号: 41, 期号: 10, 页码: 941-945
作者:
冯润东
;
张文伟
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浏览/下载:15/0
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提交时间:2022/03/10
各向异性磁电阻
NiFe薄膜
基底
磁控溅射
X射线衍射
气体氢化处理对非晶硅薄膜电化学性能的影响
期刊论文
金属功能材料, 2021, 卷号: 28, 期号: 2021,28(05), 页码: 62-68
作者:
尤超
;
张海民
;
杨淞婷
;
罗永春
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浏览/下载:2/0
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提交时间:2021/12/16
非晶硅薄膜
磁控溅射
气体氢化处理
质子型离子液体
电化学性能
磁控溅射制备各向异性磁电阻的工艺研究
学位论文
北京: 中国科学院大学, 2021
作者:
冯润东
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浏览/下载:14/0
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提交时间:2021/06/18
各向异性磁阻
磁控溅射
传感器
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