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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Deposition and Properties of CrNx films by High Power Pulsed Unbalanced Magnetron Sputtering 期刊论文 RARE METAL MATERIALS AND ENGINEERING, 2011, 卷号: 40, 页码: 160-163 作者:  Mu Xiaodong;  Mu Zongxin;  Wang Chun;  Jia Li;  Zang Hirong 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2019/12/18 plasma sources  plasma-based ion implantation and deposition  thin film structure and morphology  deposition by sputtering