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Thermal Atomic Layer Deposition of Device-Quality SiO2 Thin Films under 100 °c Using an Aminodisilane Precursor 期刊论文
Chemistry of Materials, 2019, 卷号: 31, 期号: 15, 页码: 5502-5508
作者:  Kim, Dae Hyun;  Lee, Han Jin;  Jeong, Heonjong;  Shong, Bonggeun;  Kim, Woo-Hee
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