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西安交通大学 [10]
福州大学 [1]
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会议论文 [6]
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2011 [1]
2010 [7]
2009 [3]
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Estimation of AFM Tip Shape and Status in Linewidth and Profile Measurement
会议论文
作者:
Han, Guoqiang
;
Jiang, Zhuangde
;
Jing, Weixuan
;
Prewett, Philip D.
;
Jiang, Kyle
收藏
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浏览/下载:3/0
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提交时间:2019/11/21
Atomic Force Microscopy (AFM)
Linewidth and Profile Measurement
Tip Characterization
Scanning Electron Microscope (SEM)
WCE 2010 - World Congress on Engineering 2010: Preface
期刊论文
WCE 2010 - World Congress on Engineering 2010, 2010, 卷号: 2, 期号: [db:dc_citation_issue], 页码: l
作者:
Ahmad, Munir
;
Alexandrou, Ioannis
;
Al-Nuaimy, Waleed
;
Amavasai, Bala P.
;
An, Yoon-Young
收藏
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浏览/下载:17/0
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提交时间:2019/12/10
WCE 2010 - World Congress on Engineering 2010: Preface
期刊论文
WCE 2010 - World Congress on Engineering 2010, 2010, 卷号: 3, 期号: [db:dc_citation_issue], 页码: l
作者:
Ahmad, Munir
;
Alexandrou, Ioannis
;
Al-Nuaimy, Waleed
;
Amavasai, Bala P.
;
An, Yoon-Young
收藏
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浏览/下载:10/0
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提交时间:2019/12/10
Characterization of sidewall roughness for silicon microstructures in micro actuator
期刊论文
INTERNATIONAL JOURNAL OF APPLIED ELECTROMAGNETICS AND MECHANICS, 2010, 卷号: 33, 期号: [db:dc_citation_issue], 页码: 985-990
作者:
Han, Guoqiang
;
Jiang, Zhuangde
;
Jing, Weixuan
;
Gao, Jianzhong
;
Prewett, Philip D.
收藏
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2019/12/10
line edge roughness (LER)
Micro actuator
deep reactive ion etching (DRIE)
scanning electron microscope (SEM)
WCE 2010 - World Congress on Engineering 2010: Preface
会议论文
作者:
Korsunsky, Alexander M.
;
Hunter, Andrew
;
Hukins, David W.L.
;
Gelman, Len
;
Hogger, Christopher John
收藏
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浏览/下载:3/0
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提交时间:2019/12/10
Motif Parameters Based Characterization of Line Edge Roughness of a Nanoscale Grating Structure
会议论文
作者:
Jiang, Zhuangde
;
Zhao, Fengxia
;
Jing, Weixuan
;
Prewett, Philip D.
;
Jiang, Kyle
收藏
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浏览/下载:2/0
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提交时间:2019/12/10
Nanostructure
Nanoroughness
Line Edge Roughness
Motif Parameters
WCE 2010 - World Congress on Engineering 2010: Preface
期刊论文
WCE 2010 - World Congress on Engineering 2010, 2010, 卷号: 1, 期号: [db:dc_citation_issue], 页码: l
作者:
Korsunsky, Alexander M.
;
Hunter, Andrew
;
Hukins, David W.L.
;
Gelman, Len
;
Hogger, Christopher John
收藏
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浏览/下载:13/0
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提交时间:2019/12/10
Oil-Filled Isolated High Pressure Sensor for High Temperature Application
会议论文
作者:
Jiang, Zhuangde
;
Zhao, Libo
;
Zhao, Yulong
;
Liu, Yuanhao
;
Prewett, Philip D.
收藏
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浏览/下载:3/0
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提交时间:2019/12/18
Chip
High Temperature
Corrugated Diaphragm
High Pressure Sensor
Oil-filled
Research and Evaluation of a High Temperature Pressure Sensor Chip
会议论文
作者:
Jiang, Zhuangde
;
Zhao, Libo
;
Zhao, Yulong
;
Prewett, Philip D.
;
Jiang, Kyle
收藏
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2019/12/18
pressure
high temperature
sensor chip
SIMOX
MEMS
Characterization of Line Edge Roughness and Line Width Roughness of Nano-scale Typical Structures
会议论文
作者:
Jiang, Zhuangde
;
Zhao, Fengxia
;
Jing, Weixuan
;
Prewett, Philip D.
;
Jiang, Kyle
收藏
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浏览/下载:2/0
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提交时间:2019/12/18
Line Width Roughness
Scanning Electron Microscopy
Line Edge Roughness
Fabrication
Characterization
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