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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Solution to Wafer Edge Silicon Needle Defect of Deep Trench Process 会议论文 EIGHTH INTERNATIONAL CONFERENCE ON THIN FILM PHYSICS AND APPLICATIONS, 2013-09-20 作者:  Guan, Jun[1];  Huang, Lu[2];  Shi, Weimin[3];  Yang, Weiguang[4];  Qin, Juan[5] 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2019/04/30 deep trench  silicon needle  wet etching   Thin film poly-crystalline silicon fabrication based on Rapid Thermal Annealing (RTA) process 会议论文 EIGHTH INTERNATIONAL CONFERENCE ON THIN FILM PHYSICS AND APPLICATIONS, 2013-09-20 作者:  Qian, Jun[1];  Li, Jirong[2];  Liao, Yang[3];  Shi, Weimin[4];  Kuang, Huahui[5] 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2019/04/30 Amorphous Si  aluminum-induced crystallization  RTA (Rapid Thermal Annealing)