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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Thermal Drift Investigation of an SOI-Based MEMS Capacitive Sensor with an Asymmetric Structure 期刊论文 SENSORS, 2019, 卷号: 19 作者:  Li, Haiwang;  Zhai, Yanxin;  Tao, Zhi;  Gui, Yingxuan;  Tan, Xiao 收藏  |  浏览/下载：7/0  |  提交时间：2019/12/30 MEMS  capacitive accelerometer  asymmetric structure  equivalent expansion ratio