QQ客服 官方微博 反馈留言

浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 矩形平面磁控溅射装置薄膜沉积仿真 期刊论文 真空科学与技术学报, 2008, 期号: 3, 页码: 218-224 作者:  邱清泉;  励庆孚;  苏静静;  Jiao Yu;  Finely Jim 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2019/12/18 磁控溅射  沉积  刻蚀  仿真   Simulation of coating by magnetron sputtering of rectangular planar targets 期刊论文 Zhenkong Kexue yu Jishu Xuebao/Journal of Vacuum Science and Technology, 2008, 卷号: 28, 期号: 3, 页码: 218-224 作者:  Qiu, Qingquan;  Li, Qingfu;  Su, Jingjing;  Jiao, Yu;  Jim, Finely 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2019/12/18 Gas pressure  Maxwell velocity  Rectangular planar targets  Target substrate separation  Thompson energy distribution   Simulation to improve the magnetic field in the straight section of the rectangular planar DC magnetron 期刊论文 VACUUM, 2008, 卷号: 82, 期号: 6, 页码: 657-663 作者:  Qiu, Qingquan;  Li, Qingfu;  Su, Jingjing;  Jiao, Yu;  Finely, Jim 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2019/12/18 magnetron sputtering  magnetic field  erosion  particle simulation