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浏览/检索结果: 共6条，第1-6条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 相位差效应对氢等离子体瞬时行为和均匀性的影响研究 会议论文 第十五届全国等离子体科学技术会议论文集中国力学学会;中国核学会;中国物理学会, 黄山, 2011-08-08 作者:  张钰如;  徐翔;  A.Bogaerts;  王友年 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2019/12/18 容性耦合  应腔  均匀性  沉积速率  甚高频  麦克斯韦方程组  放电过程  反相位  二维流  自洽   分子动力学模拟不同入射能量的CH与碳氢薄膜的相互作用 期刊论文 2011, 卷号: 31, 期号: 2, 页码: 138-143 作者:  秦尤敏;  吕晓丹;  赵成利;  宁建平;  贺平逆 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2019/12/28 分子动力学  碳氢薄膜  再沉积  吸附率   样品温度对CF与Si表面相互作用影响的分子动力学模拟 期刊论文 物理学报, 2010, 卷号: 第10期, 页码: 7225-7231 作者:  宁建平;  吕晓丹;  赵成利;  秦尤敏;  贺平逆 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2019/03/28 分子动力学  等离子体  刻蚀  样品温度   样品温度对CF3＋与Si表面相互作用影响的分子动力学模拟 期刊论文 2010, 期号: 10, 页码: 7225-7231 作者:  宁建平;  吕晓丹;  赵成利;  秦尤敏;  贺平逆 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2019/12/31 分子动力学  等离子体  刻蚀  样品温度   分子动力学模拟样品温度对F刻蚀SiC的影响 期刊论文 2010, 卷号: 30, 期号: 2, 页码: 111-115 作者:  宁建平;  秦尤敏;  吕晓丹;  A．Bogaerts;  苟富君 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2019/12/28 分子动力学  刻蚀  样品温度  SiC   Ar＋与氟化的Si样品相互作用机制的研究：分子动力学模拟 期刊论文 2010, 卷号: 30, 期号: 3, 页码: 229-235 作者:  秦尤敏;  吕晓丹;  宁建平;  A．Bogaerts;  苟富君 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2019/12/28 分子动力学  作用机制  刻蚀  表面富F样品表  面富C样品