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一种显现碲锌镉红外衬底缺陷的等离子体刻蚀方法 专利
专利号: 201010182276.8, 申请日期: 2011-01-01, 公开日期: 2011-12-15
作者:  1 叶振华 2 尹文婷 3 王建新 4方维政5 杨建荣 6 陈昱7 林春8 胡晓宁9 丁瑞军 10 何力
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