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科研机构
大连理工大学 [2]
内容类型
会议论文 [2]
发表日期
2017 [1]
2016 [1]
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甚高频大面积容性放电中电磁效应的实验研究
会议论文
第十八届全国等离子体科学技术会议, 中国陕西西安, 2017-07-01
作者:
韩道满
;
高飞
;
刘永新
;
徐军
;
王友年
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提交时间:2019/12/02
甚高频大面积CCP
电磁效应
等离子体均匀性
Fiber Bragg grating-based temperature sensor for neutral gas in capacitively coupled plasmas
会议论文
Conference on Advanced Sensor Systems and Applications VII, Beijing, PEOPLES R CHINA, 2016-10-12
作者:
Liu, Zigeng
;
Han, Daoman
;
Zhang, Xinpu
;
Liu, Yongxin
;
Peng, Wei
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提交时间:2019/12/09
Fiber Bragg grating
capacitively coupled plasmas
neutral gas temperature
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