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| 等离子体刻蚀中反应物输运对剖面演化影响的多尺度研究 学位论文
: 大连理工大学, 2018
作者: 张赛谦
  收藏 | 浏览/下载：3/0 | 提交时间：2019/12/02
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| 研究浮沉天降雨对电极击穿电压影响的试验装置及方法 专利
申请日期: 2017-01-25,
作者: 姜梅; 高世刚; 李江涛; 李涛; 李炜
收藏 | 浏览/下载：12/0 | 提交时间：2019/11/26 |
| 反应物输运与Ar/C4F8等离子体中SiO2刻蚀的精度控制 会议论文
第十八届全国等离子体科学技术会议, 中国陕西西安, 2017-07-01
作者: 张赛谦; 杨雪; 戴忠玲; 王友年
收藏 | 浏览/下载：2/0 | 提交时间：2019/12/02
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| Study on atomic layer etching of Si in inductively coupled Ar/Cl-2 plasmas driven by tailored bias waveforms 期刊论文
PLASMA SCIENCE & TECHNOLOGY, 2017, 卷号: 19
作者: Ma, Xiaoqin; Zhang, Saiqian; Dai, Zhongling; Wang, Younian
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| 一种湿润浮尘天气模拟平台 专利
申请日期: 2016-09-28,
作者: 姜梅; 高世刚; 李江涛; 李涛; 张忠元
收藏 | 浏览/下载：5/0 | 提交时间：2019/11/26 |
| 一种研究支柱绝缘子绝缘性能的可调电极装置 专利
申请日期: 2016-07-06,
作者: 姜梅; 李炜; 李江涛; 李涛; 张忠元
收藏 | 浏览/下载：4/0 | 提交时间：2019/11/26 |
| A Multi-Scale Study on Silicon-Oxide Etching Processes in C4F8/Ar Plasmas 期刊论文
PLASMA SCIENCE & TECHNOLOGY, 2016, 卷号: 18, 页码: 666-673
作者: Sui Jiaxing; Zhang Saiqian; Liu Zeng; Yan Jun; Dai Zhongling
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| 双频容性耦合Ar/CF4等离子体中双频源参数对刻蚀微观不均匀性影响的研究 会议论文
第十六届全国等离子体科学技术会议暨第一届全国等离子体医学研讨会, 上海, 2013-08-15
作者: 张赛谦; 戴忠玲; 宋远红; 王友年
收藏 | 浏览/下载：2/0 | 提交时间：2019/12/11 |
| 双频容性耦合Ar/CF_4等离子体中双频源参数对刻蚀微观不均匀性影响的研究 会议论文
第十六届全国等离子体科学技术会议暨第一届全国等离子体医学研讨会, 中国上海, 2013-08-15
作者: 张赛谦; 戴忠玲; 宋远红; 王友年
收藏 | 浏览/下载：1/0 | 提交时间：2019/12/13
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| 一种用于等离子体刻蚀的元胞-水平集联合模拟方法 专利
申请日期: 2012-01-01, 公开日期: 2013-04-24
作者: 阎军; 严培; 戴忠玲; 杨明强; 张赛谦
收藏 | 浏览/下载：1/0 | 提交时间：2019/12/13 |
