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科研机构
厦门大学 [3]
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期刊论文 [2]
学位论文 [1]
发表日期
2012 [3]
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超薄氧化锗制备、性质及退火对HfO2/GeO2/Ge MOS结构的影响
学位论文
2012, 2012
路长宝
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浏览/下载:4/0
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提交时间:2016/02/14
界面钝化
超薄氧化锗
退火
MOSFET
interface passivation
ultra-thin germanium oxide
annealing
MOSFET
快速热氧化制备超薄GeO_2及其性质
期刊论文
2012
路长宝
;
刘冠洲
;
李成
;
赖虹凯
;
陈松岩
收藏
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浏览/下载:8/0
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提交时间:2016/05/17
锗
初始氧化
氧化速率
界面态
X射线光电子能谱
germanium
initial oxidation
oxidation rate
interface state
X-ray photoelectron spectroscopy
Properties of ultra-thin SiGe-on-insulator materials prepared by Ge condensation method
期刊论文
http://dx.doi.org/10.1002/pssc.201200038, 2012
Li, Cheng
;
Huang, Shihao
;
Lu, Weifang
;
Xu, Jianfang
;
Huang, Wei
;
Sun, Zhijun
;
Lai, Hongkai
;
Chen, Songyan
;
李成
;
徐剑芳
;
黄巍
;
孙志军
;
赖虹凯
;
陈松岩
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浏览/下载:4/0
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提交时间:2015/07/22
Germanium
Oxidation
Raman spectroscopy
Transmission electron microscopy
X ray diffraction
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