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| Modelling and characterisation of a micromachined resonant pressure sensor with piezoelectric excitation and sensing 期刊论文
MICRO & NANO LETTERS, 2016, 卷号: 11, 期号: [db:dc_citation_issue], 页码: 326-331
作者: Cheng, Rongjun; Zhao, Yulong; Li, Cun; Li, Bo; Zhang, Qi
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| A Novel Laterally Driven Micromachined Resonant Pressure Sensor 会议论文
The 9th IEEE Conference on Sensors, 美国, 2010-11-01
陈德勇; 李玉欣; 刘猛
收藏 | 浏览/下载：8/0 | 提交时间：2011/06/03 |
| Design and experiment of a laterally driven micromachined resonant pressure sensor for barometers 期刊论文
Procedia Engineering, 2010, 卷号: 2, 期号: 5, 页码: 1490-1493
陈德勇; 李玉欣; 刘猛
收藏 | 浏览/下载：6/0 | 提交时间：2011/06/03 |
| 新型微机械隧道陀螺仪的设计和工艺制备 期刊论文
2009
李文望; 孙道恒; 王凌云
收藏 | 浏览/下载：6/0 | 提交时间：2016/05/17
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| 扇形梳齿驱动式体硅微机械隧道陀螺仪的设计与制备(英文) 期刊论文
2009
王凌云; 李文望; 庄根煌; 孙道恒
收藏 | 浏览/下载：3/0 | 提交时间：2016/05/17
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| Optimization of a novel structure for Micromachined Resonant Pressure Sensor 期刊论文
Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering, v 7159, 2009, 卷号: 7159
史晓晶; 陈德勇; 王军波
收藏 | 浏览/下载：12/0 | 提交时间：2010/03/18 |
| 半导体激光反馈光注入式硅微机械谐振传感技术的研究 学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2009
作者: 王少卿
收藏 | 浏览/下载：51/0 | 提交时间：2016/11/28
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