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苏州纳米技术与纳米仿... [1]
内容类型
期刊论文 [1]
发表日期
2015 [1]
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Micro-electro-mechanical systems capacitive ultrasonic transducer with a higher electromechanical coupling coefficient
期刊论文
Micro & Nano Letters, 2015, 卷号: 10, 期号: 10, 页码: 4
作者:
Miao, J(苗静)
;
Shen, WJ(沈文江)
;
He, CD
;
Xue, CY
;
Xiong, JJ
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浏览/下载:80/0
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提交时间:2015/12/31
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operation-collapse voltage
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Si
SiO2
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