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HARDWARE-IN-LOOP SIMULATION SYSTEM AND METHOD FOR ULTRA-PRECISION MOTION PLATFORM 专利
申请日期: 2021-09-02, 公开日期: 2021-09-02
作者:  Zhang C(张诚);  Zhang HL(张华良);  Li QX(李庆鑫);  Li ZY(李子阳);  Wang FD(王福东)
收藏  |  浏览/下载：22/0  |  提交时间：2022/01/02
User-friendly microfabrication method for complex topological structure and three-dimensional microchannel with the application prospect in polymerase chain reaction (PCR) 期刊论文
Analytical Chemistry, 2021, 卷号: 93, 期号: 3, 页码: 1523-1528
作者:  K. Wang;  L. He;  A. Manz and W. Wu
收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2022/06/13
An Accelerated Iterative Learning Control Approach for X-Y precision plane motion stage 会议论文
Dalian, China, July 15-17, 2021
作者:  Zhang T(张涛);  Yan HY(闫红雨);  Jia DP(贾丹平);  Zhang HL(张华良);  Zhao BJ(赵冰洁)
收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2021/11/21
Research on Surface Roughness Related Coating Processes of Mo/Si Multilayers 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2020, 卷号: 40, 期号: 10, 页码: 7
作者:  S. Sun,C. Jin,B. Yu,T. Guo,S. Yao,C. Li and W. Deng
收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2021/07/06
Analysis of ArF excimer laser system discharge characteristics in different buffer gases 期刊论文
Acta Physica Sinica, 2020, 卷号: 69, 期号: 17, 页码: 8
作者:  Q. Wang, J. S. Zhao, Y. Y. Fan, X. Guo and Y. Zhou
收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2021/07/06
A method of measuring the velocity of slit based on machine vision 会议论文
作者:  Chen, Man;  Liao, Zhijie
收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2018/12/20
Transfer of Two-Dimensional Oligonucleotide Patterns onto Stereocontrolled Plasmonic Nanostructures through DNA-Origami-Based Nanoimprinting Lithography 期刊论文
ANGEWANDTE CHEMIE-INTERNATIONAL EDITION, 2016, 卷号: 55, 期号: 28, 页码: 8036-8040
作者:  Zhang, YN;  Chao, J;  Liu, HJ;  Wang, F;  Su, S
收藏  |  浏览/下载：28/0  |  提交时间：2017/03/02
Method of pupil shaping for off-axis illumination in optical lithography 期刊论文
J. Opt. Technol., 2016, 卷号: 83, 期号: 3, 页码: 154
作者:  Chen, Ming;  Huang, Huijie;  Yang, Baoxi;  Zhu, Jing;  Zeng, Aijun
收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2017/12/25
Method of pupil shaping for off-axis illumination in optical lithography 期刊论文
J. Opt. Technol., 2016, 卷号: 83, 期号: 3, 页码: 154
作者:  Huang, Huijie;  Chen, Ming;  Zhang, Fang;  Zeng, Aijun;  Zhu, Jing
收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2017/12/25
Linearity estimation of high accurate energy detector for excimer laser 期刊论文
optik, 2015, 卷号: 126, 期号: 7_8, 页码: 817
作者:  Xie, Chengke;  Chen, Ming;  Zhu, Jing;  Yang, Baoxi;  Huang, Huijie
收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2016/11/28

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