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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 A hybrid model of radio frequency biased inductively coupled plasma discharges: description of model and experimental validation in argon 期刊论文 PLASMA SOURCES SCIENCE & TECHNOLOGY, 2016, 卷号: 25 作者:  Wen, De-Qi;  Liu, Wei;  Gao, Fei;  Lieberman, M. A.;  Wang, You-Nian 收藏  |  浏览/下载：6/0  |  提交时间：2019/12/09 global model  parallel Monte-Carlo collision sheath model  interaction between the bulk plasma and rf bias sheath  ion energy-angle distribution  biased inductively coupled plasma