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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Study on the Highly Intelligent Uniformity Correction and the Application for Lithography 期刊论文 SIXTH INTERNATIONAL CONFERENCE ON OPTICAL AND PHOTONIC ENGINEERING (ICOPEN 2018), 卷号: 10827 作者:  Cheng Weilin;  Zhang Fang;  Lin Donglinag;  Zeng Aijun;  Yang Baoxi 收藏  |  浏览/下载：6/0  |  提交时间：2018/12/25 高端光刻机照明系统智能均匀性校正技术研究 学位论文 作者:  程伟林 收藏  |  浏览/下载：115/0  |  提交时间：2018/12/26 高端光刻机照明系统  Advanced lithographic illumination  智能均匀性校正技术  intelligent uniformity correction  手指阵列式均匀性校正技术  finger arreys uniformity correction  阵列式手指驱动技术  finger array driving technology