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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Research on digital gray-tone projection lithography 会议论文 Proceedings of SPIE, 2009 作者:  Wang Jian;  Zhao Lixin;  Yan WEi;  Xu Wenxiang;  Hu Song 收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2016/11/24 Simulation of DOE fabrication using DMD-based gray-tone lithography 期刊论文 MICROELECTRONIC ENGINEERING, 2006, 卷号: 83, 期号: 4-9, 页码: 1012-1016 作者:  Guo, XW;  Du, JL;  Guo, YK;  Du, CL;  Cui, Z 收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2015/09/21 digital gray-tone lithography  imaging model  exposure dose  DMD  DOE