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Beam Shaping Performance Based on Metallic Corrugated Grooves and Dielectric Periodic Gratings at 500 GHz
期刊论文
IEEE ACCESS, 2018, 卷号: 6, 页码: 42507-42515
作者:
Ding, Jiang-Qiao
;
Hu, Jie
;
Shi, Sheng-Cai
;
Zhao, Yun
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浏览/下载:34/0
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提交时间:2019/04/08
Beam shaping characteristic
leaky-wave antenna
micromachining
surface plasmon (SP)
terahertz (THz)
硅微静电悬浮加速度计实验研究
期刊论文
2016, 2016
张汉蒸
;
韩丰田
;
孙搏谦
;
马高印
;
ZHANG Han-zheng
;
HAN Feng-tian
;
SUN Bo-qian
;
MA Gao-yin
收藏
  |  
浏览/下载:3/0
硅微静电加速度计的支承刚度特性
期刊论文
2016, 2016
韩丰田
;
吴秋平
;
孙搏谦
;
张汉蒸
;
马高印
;
HAN Feng-tian
;
WU Qiu-ping
;
SUN Bo-qian
;
ZHANG Han-zheng
;
MA Gao-yin
收藏
  |  
浏览/下载:4/0
新型透明电光陶瓷的特性及器件技术研究
学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者:
张学娇
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浏览/下载:275/0
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提交时间:2016/11/28
弛豫铁电体
PLZT/PMNT电光陶瓷
强激光与物质的相互作用
电光调制器件,飞秒激光微加工
Length-extensional resonating gas sensors with ic-foundry compatible low-cost fabrication in non-soi single-wafer
期刊论文
Microelectronic engineering, 2015, 卷号: 136, 页码: 1-7
作者:
Yu, Feng
;
Xu, Pengcheng
;
Wang, Jiachou
;
Li, Xinxin
收藏
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浏览/下载:70/0
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提交时间:2019/05/10
Resonant gas sensor
Extensional bulk resonance mode
Non-soi wafer
Low-cost fabrication
Integrated-circuit foundry
Organo-phosphorous pesticide
Optical micro-electro-mechanical-system pressure sensor based on light intensity modulation
期刊论文
Micro & Nano Letters, 2015, 卷号: 10, 期号: [db:dc_citation_issue], 页码: 491-495
作者:
Zhao, Yulong
;
Li, Cun
;
Hao, Mengmeng
;
Cheng, Rongjun
;
Fan, Xiaole
收藏
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浏览/下载:4/0
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提交时间:2019/12/02
thin film
finite element method
flammable areas
fibre conducts
light intensity modulation
silicon compounds
microsensors
bulk micromachining technology
optical microelectromechanical-system pressure sensor
combustible areas
optical cables
intensity modulation
pressure sensors
silicon diaphragm deformation
micromachining
pressure measurement
finite element analysis
optical cable
reflected light intensity shift
pressure 0 MPa to 20 MPa
signal transmission
photoelectric detection circuit
micro-optomechanical devices
elemental semiconductors
optical modulation
thin films
source light
silicon
fibre optic sensors
Packaging a piezoresistive pressure sensor for intracranial pressure monitoring
会议论文
作者:
Meng, Xiawei
;
Zhao, Yulong
收藏
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浏览/下载:4/0
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提交时间:2019/12/02
Biomedical applications
Implantable sensors
Intra-cranial pressure
Miniaturization
Piezo-resistive
Piezoresistive pressure sensors
Silicon bulk micromachining technology
Single-crystal silicon wafers
A CMOS compatible process for monolithic integration of high-aspect-ratio bulk silicon microstructures
期刊论文
Science China(Information Sciences), 2014
QIAN Liang
;
YANG ZhenChuan
;
YAN GuiZhen
收藏
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2017/12/03
monolithic integration
trench isolation
CMOS compatibility
high-aspect-ratio
bulk micromachining
A novel inertial switch based on nonlinear-spring shock stop
其他
2013-01-01
Deng, K.F.
;
Su, W.G.
;
Li, S.
;
Zhang, Y.T.
;
Chen, G.Z.
;
Zhang, W.
;
Wan, S.
;
Li, L.
;
Jiang, S.B.
;
Zheng, H.
;
Xia, W.
收藏
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浏览/下载:3/0
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提交时间:2015/11/13
超短脉冲激光微加工透明介质机制与建模
学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2013
作者:
孙明营
收藏
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浏览/下载:111/0
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提交时间:2016/11/28
超短脉冲激光
激光击穿
激光损伤
激光微加工
透明介质
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