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沉积温度对氧化钇稳定氧化锆薄膜残余应力的影响 期刊论文
光学学报, 2008, 卷号: 28, 期号: 5, 页码: 1007, 1011
肖祁陵; 贺洪波; 邵淑英; 邵建达; 范正修
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