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科研机构
厦门大学 [2]
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学位论文 [2]
发表日期
2016 [1]
2013 [1]
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锗n+/p浅结及SOI基Ge波导型光电探测器的研制
学位论文
2016, 2015
王尘
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浏览/下载:8/0
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提交时间:2017/06/20
脉冲激光退火
低温预退火
Ge n+/p浅结
SOI基Ge波导探测器
Excimer laser annealing (ELA)
Low temperature pre-annealing
Ge n+/pshallow junction
SOI-based Ge waveguide photodetector
绝缘层上Ge (GOI)材料及Si基Ge波导型探测器研究
学位论文
2013, 2013
阮育娇
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浏览/下载:8/0
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提交时间:2016/01/13
Germanium on Insulator
Wafer bonding
Smart-cut
Phosphorus implantation doping in Ge
Ohmic contact formation on n-type Ge
Ge waveguide photodetector
GOI材料
晶片键合
智能剥离
Ge中磷的注入掺杂
n-Ge的欧姆接触
Ge波导型探测器
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