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Modeling multilayer coating profiles with defects on EUV collector with grating 期刊论文
Optical Engineering, 2019, 卷号: 58, 期号: 10, 页码: 9
作者:  S.Z.Sun;  C.S.Jin;  B.Yu;  T.Guo;  S.Yao
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High-speed near-field photolithography at 16.85 nm linewidth with linearly polarized illumination 期刊论文
OPTICS EXPRESS, 2017, 卷号: 25, 期号: 15, 页码: 17571-17580
作者:  Ji, Jiaxin;  Meng, Yonggang;  Hu, Yueqiang;  Xu, Jian;  Li, Shayu
收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2018/05/25
Water-Based Photo- and Electron-Beam Lithography Using Egg White as a Resist 期刊论文
ADVANCED MATERIALS INTERFACES, 2017, 卷号: 4
作者:  Jiang, Bojing;  Yang, Jie;  Li, Chen;  Zhang, Liangliang;  Zhang, Xu
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Image grating metrology using phase-stepping interferometry in scanning beam interference lithography 会议论文
作者:  Xiang, XianSong;  Li, Minkang;  Wei, Chunlong;  Jia, Wei;  Lu, Yancong
收藏  |  浏览/下载：38/0  |  提交时间：2017/12/25
Image grating metrology using phase-stepping interferometry in scanning beam interference lithography 会议论文
作者:  Li, Minkang;  Xiang, Changcheng;  Lu, Yancong;  Jia, Wei;  Wei, Chunlong
收藏  |  浏览/下载：27/0  |  提交时间：2017/12/25
Large area and deep sub-wavelength interference lithography employing odd surface plasmon modes 期刊论文
Scientific Reports, 2016, 卷号: 6
作者:  Liu, Liqin;  Luo, Yunfei;  Zhao, Zeyu;  Zhang, Wei;  Gao, Guohan
收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2016/10/27
高重复频率脉冲功率技术及其应用:(6)代表性的应用 期刊论文
2016, 2016
江伟华; Jiang Weihua
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Error modeling and analysis of photo-electricity telescope based on multi-system theory 期刊论文
Hongwai yu Jiguang Gongcheng/Infrared and Laser Engineering, 2016, 卷号: 45, 期号: 8
作者:  Wang, W.;  Y. Zhao;  Y. Cao;  Z. Wang and F. Wang
收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2017/09/11
Applying Q-Type aspheres in the ultraviolet lithography objective lens 期刊论文
Proceedings of SPIE: Novel Optical Systems Design and Optimization XIX, 2016, 卷号: 9948, 页码: 994804
作者:  Bai, Yu;  Xing, Tingwen;  Jiang, Yadong
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Pixelated source optimization for optical lithography via particle swarm optimization 期刊论文
J. Micro-Nanolithogr. MEMS MOEMS, 2016, 卷号: 15, 期号: 1
作者:  Wang, Lei;  Li, Sikun;  Wang, Xiangzhao;  Yan, Guanyong;  Yang, Chaoxing
收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2017/12/25

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