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Exploring the nonlinear piezoresistive effect of 4H-SiC and developing MEMS pressure sensors for extreme environments
期刊论文
MICROSYSTEMS & NANOENGINEERING, 2023, 卷号: 9, 期号: 1, 页码: 1-18
作者:
Chen Wu
;
Xudong Fang
;
Qiang Kang
;
Ziyan Fang
;
Junxia Wu
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提交时间:2024/05/07
Acetone Sensor Based on FAIMS-MEMS
期刊论文
MICROMACHINES, 2021, 卷号: 12, 期号: 12, 页码: 21
作者:
Zhang, Junna
;
Lei, Cheng
;
Liang, Ting
;
Liu, Ruifang
;
Zhao, Zhujie
收藏
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浏览/下载:29/0
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提交时间:2022/02/17
diabetes
FAIMS-MEMS
acetone
reproducibility
stability
Co-sputtered Pd/SnO2:NiO heterostructured sensing films for MEMS-based ethanol sensors
期刊论文
MATERIALS LETTERS, 2020, 卷号: 273, 页码: 4
作者:
Wang, Y.
;
Tong, W. G.
;
Han, N.
收藏
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浏览/下载:2/0
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提交时间:2020/07/23
Pd/SnO2
NiO thin films
Composite materials
Sputtering
Ethanol gas detection
XPS
MEMS gas sensor
Fully Integrated Photoacoustic NO2 Sensor for Sub-ppb Level Measurement
期刊论文
SENSORS, 2020, 卷号: 20
作者:
Dong, Yang
;
Gu, Mingsi
;
Zhu, Gongdong
;
Tan, Tu
;
Liu, Kun
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浏览/下载:20/0
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提交时间:2020/11/26
nitrogen dioxide
photoacoustic spectroscopy
integrated sensor
detection limit
Sensitive Cross-Linked SnO2:NiO Networks for MEMS Compatible Ethanol Gas Sensors
期刊论文
Nanoscale Research Letters, 2020, 卷号: 15, 期号: 1
作者:
Tong,Weiguang
;
Wang,Ying
;
Bian,Yuzhi
;
Wang,Anqi
;
Han,Ning
收藏
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浏览/下载:20/0
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提交时间:2020/03/24
Cross-linked SnO2:NiO network
Self-assembly
Gas sensor
MEMS compatible
Ethanol detection
Sputtered SnO2:NiO thin films on self-assembled Au nanoparticle arrays for MEMS compatible NO2 gas sensors
期刊论文
SENSORS AND ACTUATORS B-CHEMICAL, 2019, 卷号: 278, 页码: 28-38
作者:
Wang, Ying
;
Liu, Chengyao
;
Wang, Zhou
;
Song, Zhiwei
;
Zhou, Xinyuan
收藏
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浏览/下载:51/0
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提交时间:2018/12/04
Au/SnO2:NiO thin films
Heterostructure
Self-assembly
NO2 gas detection
Thermal annealing
Fermi level
OPTICAL OPTIMIZATION OF MEMS IR SOURCE FOR COMPACT NDIR GAS SENSORS
会议论文
作者:
Jijun Xiong
;
Fu JY(傅剑宇)
;
Qiulin Tan
;
Jing Zhang
;
Liu WB(刘卫兵)
收藏
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浏览/下载:15/0
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提交时间:2019/05/14
An integrated micro-chip with Ru/Al2O3/ZnO as sensing material for SO2 detection
期刊论文
SENSORS AND ACTUATORS B-CHEMICAL, 2018, 卷号: 262, 页码: 26-34
作者:
Liu, Yingying[1]
;
Xu, Xinyue[2]
;
Chen, Ying[3]
;
Zhang, Yuan[4]
;
Gao, Xinghua[5]
收藏
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浏览/下载:12/0
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提交时间:2019/04/24
ZnO
SO2
Gas sensors
On-line mass spectrometry
MEMS sensor
Sensing mechanism
Gas Sensing System Composed of IC-foundry-compatible Microcantilever, Advanced Sensing Material, and Intelligent Signal Processing
期刊论文
SENSORS AND MATERIALS, 2018, 卷号: 30, 页码: 757-766
作者:
Peng, Xin[1]
;
Lv, Yanqing[2]
;
Xu, Pengcheng[3]
;
Li, Xinxin[4]
;
Yu, Haitao[5]
收藏
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浏览/下载:3/0
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提交时间:2019/04/22
MEMS
gas sensor
microcantilever
MOF-5
PLL
Gas Detection Microsystem with MEMS Gas Sensor and Integrated Circuit
期刊论文
IEEE Sensors Journal, 2018, 卷号: Vol.18 No.16, 页码: 6765-6773
作者:
Xu, Lei
;
Chen, Dongliang
;
Jin, Lele
;
Zhang, Yidan
;
Wu, Feng
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浏览/下载:21/0
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提交时间:2019/04/24
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