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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 新型LIGA掩模板制造工艺研究 期刊论文 高能物理与核物理, 2001, 期号: S1, 页码: 131-134 作者:  陈迪;  朱军;  雷蔚;  王水;  张大成 收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2015/12/25 LIGA掩模板  ICP深刻蚀  LIGA技术   Study on new type LIGA mask fabrication technique 期刊论文 HIGH ENERGY PHYSICS AND NUCLEAR PHYSICS-CHINESE EDITION, 2001, 卷号: 25, 页码: #REF! 作者:  Chen, D;  Zhu, J;  Lei, W;  Wang, S;  Zhang, DC 收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2016/04/12 LIGA mask  ICP deepetching  LIGA technique   新型全硅LIGA掩模板制造工艺研究 其他 2000-01-01 陈迪; 雷蔚; 王水; 张大成; 伊福廷; 李昌敏; 郭晓芸; 毛海平 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2015/11/12 LIGA掩模板  ICP深刻蚀  LIGA技术  刻蚀工艺  掩摸板  微电铸  LIGA