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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 3英寸SiC衬底无架行星式双面抛光运动学分析 期刊论文 功能材料, 2015, 卷号: 46, 期号: 18, 页码: 18105-18111 作者:  张鹏;  冯显英;  杨静芳 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2019/12/17 行星差动轮系  抛光轨迹  3英寸碳化硅衬底