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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 集束型半导体制造装备优化调度问题研究 学位论文 博士, 中国科学院沈阳自动化研究所: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2010 李林瑛 收藏  |  浏览/下载：248/0  |  提交时间：2012/07/27 半导体制造  集束型装备  数学规划模型  调度算法  集束型装备控制系统   多集束型装备调度的k晶圆周期序列问题 期刊论文 计算机集成制造系统, 2010, 卷号: 16, 期号: 1, 页码: 109-114 作者:  李林瑛;  胡静涛 收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2012/05/29 半导体制造  多集束型装备  双臂机械手  缓冲加工模块  并行机  调度