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| 基于PDMS芯模的微电铸技术及其成形机理研究 学位论文
北京: 中国科学院大学, 2021
作者: 周波
  收藏 | 浏览/下载：13/0 | 提交时间：2022/12/15
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| 构筑仿生超润湿表面图案操控液滴的定向运输 学位论文
北京: 中国科学院大学, 2021
作者: 梁晓静
收藏 | 浏览/下载：16/0 | 提交时间：2022/03/04
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| 非焊接式纳米线机械性能测试器件结构设计 期刊论文
传感技术学报, 2017, 卷号: 30, 页码: 831-835
作者: 杜林[1]; 饶进军[2]; 吴智政[3]; 刘梅[4]; 曹宁[5]
收藏 | 浏览/下载：8/0 | 提交时间：2019/04/24
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| 新型高频硅基超声雾化器的结构仿真及制作 期刊论文
2017, 卷号: 39, 期号: 2, 页码: 260-264
作者: 张轲[1,2]; 苗斌[2,3]; 丁祥桢[2,5]; 顾智琦[2,6]; 潘天龙[7]
收藏 | 浏览/下载：4/0 | 提交时间：2020/01/04
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| 用于制造集成的微机械的流体传感器构件的方法，集成的微机械的流体传感器构件和借助于集成的微机械的流体传感器构件来检测流体的方法 专利
专利号: CN105899938A, 申请日期: 2016-08-24, 公开日期: 2016-08-24
作者: R.菲克斯; R.哈特克; J.贝因特纳
收藏 | 浏览/下载：2/0 | 提交时间：2020/01/18 |
| 基于低温共烧陶瓷的微机械差分电容式加速度计的研究 期刊论文
传感技术学报, 2016
张义川; 缪旻; 方孺牛; 唐小平; 卢会湘; 严英占; 金玉丰
收藏 | 浏览/下载：5/0 | 提交时间：2017/12/03
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| 真空封装MEMS陀螺高温老化失效机理研究 期刊论文
传感技术学报, 2016
谷专元; 何春华; 陈俊光; 赵前程; 张大成; 闫桂珍
收藏 | 浏览/下载：4/0 | 提交时间：2017/12/03
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| 真空封装MEMS陀螺高温老化失效机理研究 期刊论文
《传感技术学报》, 2016, 卷号: 29, 页码: 1637-1642
作者: 谷专元[1,2]; 何春华[2,3]; 陈俊光[2]; 赵前程[3]; 张大成[3]
收藏 | 浏览/下载：2/0 | 提交时间：2019/04/24
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| 基于激光相变热刻蚀效应的微纳结构制备 学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者: 周奇军
收藏 | 浏览/下载：21/0 | 提交时间：2016/11/28
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| 基于激光相变热刻蚀效应的微纳结构制备 学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者: 周奇军
收藏 | 浏览/下载：18/0 | 提交时间：2016/11/28
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