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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 离子轰击对溅射淀积DLC膜速率和性质的影响 期刊论文 真空科学与技术, 1991, 期号: 5, 页码: 335-340 作者:  黄良甫;  罗崇泰;  刘定权;  徐明;  杨益民 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2015/04/27 离子轰击:6574  电阻率:3280  红外透过率:2920  离子束轰击:2717  离子束溅射:2511  离子辅助轰击:2470  分析讨论:2227  膜电阻:2134  离子束辅助:2025  离子能量:2016