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| 硅氢氯化法生产三氯氢硅清洁生产评价指标体系 期刊论文
化工环保, 2013, 卷号: 33, 期号: 5, 页码: 426-430
作者: 马红娜; 武征; 孙愿; 刘玉龙
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| 四氯化硅微波等离子氢化的新工艺 学位论文
博士: 中国科学院研究生院, 2012
卢振西
收藏 | 浏览/下载：38/0 | 提交时间：2013/09/25
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| PECVD裂解SiCl4低温快速沉积氢化纳米晶硅薄膜的研究 学位论文
博士, 北京: 中国科学院金属研究所, 2012
张林
收藏 | 浏览/下载：32/0 | 提交时间：2013/04/12
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| 有机-无机杂化介孔分子筛的合成及在固载化催化剂中的应用研究 学位论文
理学博士: 中国科学院研究生院, 2004
聂春发
收藏 | 浏览/下载：115/0 | 提交时间：2014/04/15
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| FT－IR法测量高纯四氯化硅中的微量三氯氢硅 期刊论文
光谱学与光谱分析, 1994, 期号: 02
朱新芳; 李卜森; 张琪
收藏 | 浏览/下载：14/0 | 提交时间：2013/01/23 |
| 氯化物复合氢还原的研究 学位论文
硕士: 中国科学院研究生院, 1989
庞小斌
收藏 | 浏览/下载：17/0 | 提交时间：2014/07/03 |
| 硅烷掺杂的薄层外延不锈钢外延设备 期刊论文
仪器制造, 1984, 期号: 03
陈庆贵; 宋志庆; 史日华; 蔡希介
收藏 | 浏览/下载：16/0 | 提交时间：2012/03/29 |
