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| 硅微静电悬浮加速度计实验研究 期刊论文
2016, 2016
张汉蒸; 韩丰田; 孙搏谦; 马高印; ZHANG Han-zheng; HAN Feng-tian; SUN Bo-qian; MA Gao-yin
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| 一种电容式高量程微机械加速度计的设计分析 期刊论文
2016, 2016
陶永康; 刘云峰; 董景新; TAO Yong-kang; LIU Yun-feng; DONG Jing-xin
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| 基于微机械加速度计的振速水听器的设计与分析 期刊论文
http://epub.edu.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=CGJS200605257&dbname=CJFQ2006, 2012, 2012
安鹏; 苑伟政; 张承亮
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| 基于表面微机械技术的压阻式加速度传感器 期刊论文
仪表技术与传感器, 2011, 期号: 11
魏长征; 周伟; 李昕欣
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| 谐振式硅微机械加速度计研究进展 期刊论文
传感器与微系统, 2011, 卷号: 30, 页码: 4-7
作者: 李晶; 樊尚春; 李成; 余朝发
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| 端面约束单晶硅直梁MEMS扫描微镜应力特性研究 期刊论文
机械强度, 2009, 期号: 02
穆参军; 张飞岭; 张宁; 赵本刚; 吴亚明
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| 半导体激光反馈光注入式硅微机械谐振传感技术的研究 学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2009
作者: 王少卿
收藏 | 浏览/下载：51/0 | 提交时间：2016/11/28
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| 半导体激光正弦相位调制干涉测振技术的研究 学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2009
作者: 李中梁
收藏 | 浏览/下载：28/0 | 提交时间：2016/11/28
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| 基于MEMS技术梁膜结合压阻式加速度计的设计 期刊论文
仪表技术与传感器, 2009, 期号: z1, 页码: 167-170
作者: 张玲; 赵玉龙; 蒋庄德; 田边
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| 硅微机械二维加速度计的结构设计 期刊论文
传感器与微系统, 2009, 卷号: 028
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收藏 | 浏览/下载：2/0 | 提交时间：2020/10/26
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