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浏览/检索结果: 共5条，第1-5条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 高NA光刻机投影物镜偏振像差检测技术研究 学位论文 博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016 作者:  沈丽娜 收藏  |  浏览/下载：143/0  |  提交时间：2016/11/28 光刻机  矢量成像模型  偏振像差  泡利-泽尼克系数  偏振像差检测   空间载荷低速控制摩擦与转矩波动力矩辨识与补偿方法研究 学位论文 硕士: 中国科学院大学, 2015 作者:  卢盟 收藏  |  浏览/下载：32/0  |  提交时间：2016/04/11 摩擦  转矩波动  LuGre摩擦模型  干扰观测器  永磁同步电机   含自由曲面反射望远系统装调研究 学位论文 博士: 中国科学院大学, 2014 王钰 收藏  |  浏览/下载：54/0  |  提交时间：2015/05/03 自由曲面  计算机辅助装调  矢量波像差理论  人工神经网络   高数值孔径光刻中光的传播与成像研究 学位论文 博士: 中国科学院电工研究所, 2008 1周远,电工研究所 收藏  |  浏览/下载：71/0  |  提交时间：2010/10/18 高数值光刻  矢量成像  偏振  TARC  BARC  体效应  干涉光刻 High numerical aperture lithography  Vector imaging  Polarization  TARC  BARC  Bulk effects  Interference lithography   浸没式光刻机投影物镜波像差检测技术研究 学位论文 作者:  诸波尔 收藏  |  浏览/下载：91/0  |  提交时间：2018/12/26 浸没式光刻机  Immersion lithography tool  投影物镜  Projection lens  波像差检测  Wavefront aberration measurement  空间像  Aerial image  主成分分析  Principal component analysis (PCA)