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氧氮共注入提高SIMOX材料抗辐射性能研究 会议论文
上海市有色金属学会、上海市金属学会半导体材料专委会学术年会, 2004
张恩霞; 钱聪; 张正选; 王曦; 张国强; 李宁; 郑中山; 刘忠立
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