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科研机构
上海微系统与信息技术... [1]
内容类型
会议论文 [1]
发表日期
2004 [1]
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氧氮共注入提高SIMOX材料抗辐射性能研究
会议论文
上海市有色金属学会、上海市金属学会半导体材料专委会学术年会, 2004
张恩霞
;
钱聪
;
张正选
;
王曦
;
张国强
;
李宁
;
郑中山
;
刘忠立
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提交时间:2012/01/18
氧氮共注 离子注入 辐照加固 半导体器件
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