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| 抛光垫特性对氧化镓CMP影响的实验研究 期刊论文
工具技术, 2018, 期号: 06, 页码: 29-32
作者: 龚凯[1]; 周海[2]; 韦嘉辉[3]; 宋放[4]; 王晨宇[5]
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| 抛光垫非线性压缩行为研究 学位论文
: 大连理工大学, 2017
作者: 何东山
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| 抛光垫特性对硬质合金刀片CMP加工效果的影响 期刊论文
表面技术, 2017, 卷号: 第46卷 第12期, 页码: 270-276
作者: 毛美姣; 吴锋; 胡自化
收藏 | 浏览/下载：2/0 | 提交时间：2019/12/31
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| 考虑抛光垫特性的CMP流动性能 期刊论文
2010, 2010
张朝辉; 雒建斌; 温诗铸; ZHANG Chaohui; LUO Jianbin; WEN Shizhu
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| 抛光垫表面特性分析 期刊论文
半导体技术, 2007, 卷号: 32, 页码: 957-960
作者: 苏建修; 傅宇; 杜家熙; 陈锡渠; 张学良
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| 抛光垫特性及其对化学机械抛光效果影响的研究 学位论文
: 大连理工大学, 2005
作者: 吴雪花
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| 倍半氧化物激光材料低损伤加工研究 学位论文
作者: 沈冯峰
收藏 | 浏览/下载：19/0 | 提交时间：2018/12/26
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