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掺杂(硼和磷)a-Si_(1-x)C_x_H膜中氢含量的测量 期刊论文
半导体学报/Pan Tao Ti Hsueh Pao/Chinese Journal of Semiconductors, 1986, 卷号: 7, 期号: 5, 页码: 539-542
作者:  陈光华;  张仿清;  徐希翔;  清水立生
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