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| 五维自由度衍射光栅精密测量系统（英文） 期刊论文
中国光学, 2020, 卷号: 13, 期号: 01, 页码: 189-202
作者: 吕强; 王玮; 刘兆武; 宋莹; 姜珊
  收藏 | 浏览/下载：3/0 | 提交时间：2021/07/06
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| 大型高精度衍射光栅刻划机分度系统重载工作台的宏定位实现方法研究 学位论文
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者: 姚雪峰
收藏 | 浏览/下载：1/0 | 提交时间：2019/09/23
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| 大型衍射光栅刻划机微定位系统控制器设计及光栅衍射波前校正技术研究 学位论文
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者: 糜小涛
收藏 | 浏览/下载：0/0 | 提交时间：2019/09/23
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| 光栅刻划机阿贝误差对光栅衍射波前质量的影响及其校正方法 期刊论文
中国激光, 2017, 页码: 148-156
作者: 糜小涛; 于海利; 于宏柱; 齐向东; 李晓天
收藏 | 浏览/下载：39/0 | 提交时间：2018/04/09
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| 在线诊断光谱仪用光栅制作误差对光谱成像的影响及补偿 期刊论文
光谱学与光谱分析, 2016, 期号: 3, 页码: 857-863
作者: 吴娜; 姜岩秀; 巴音贺希格; 杨硕; 赵旭龙
收藏 | 浏览/下载：23/0 | 提交时间：2017/09/17
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| 自由电子激光器用极紫外波段平面变栅距光栅 期刊论文
光学精密工程, 2015, 期号: 08, 页码: 2117-2124
作者: 姜岩秀; 巴音贺希格; 赵旭龙; 杨硕; 吴娜
收藏 | 浏览/下载：29/0 | 提交时间：2016/07/06
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| 大光栅刻划机刻划系统结构设计与刻线弯曲误差机械修正 学位论文
博士: 中国科学院大学, 2015
作者: 宋楠
收藏 | 浏览/下载：26/0 | 提交时间：2015/11/30
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| 极紫外波段平面变栅距全息光栅的优化设计 期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 01, 页码: 45-55
作者: 姜岩秀; 巴音贺希格; 杨硕; 赵旭龙; 李文昊
收藏 | 浏览/下载：30/0 | 提交时间：2016/07/06
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| 光栅刻划机衍射波前质量的主动控制校正方法 期刊论文
中国激光, 2015, 期号: 01, 页码: 239-246
作者: 杨超; 于海利; 张善文; 于宏柱; 李晓天
收藏 | 浏览/下载：18/0 | 提交时间：2016/07/06
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| 基于单压电执行器的光栅刻线摆角修正 期刊论文
光学精密工程, 2014, 期号: 8, 页码: 2039-2046
李晓天; 齐向东; 于海利; 高键翔; 冯树龙; 巴音贺希格
收藏 | 浏览/下载：22/0 | 提交时间：2015/04/17
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