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| 用于FBG刻写的小型准分子激光器实验研究 期刊论文
量子电子学报, 2018, 卷号: 035
作者: 张威; 方晓东; 梁勖
  收藏 | 浏览/下载：2/0 | 提交时间：2020/11/25
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| 光源掩模协同优化的原理与应用 期刊论文
半导体技术, 2017
作者: 韦亚一 ; 董立松; 何建芳; 陈文辉
收藏 | 浏览/下载：21/0 | 提交时间：2018/06/08 |
| 超大规模集成电路先进光刻理论与应用 专著
北京:科学出版社, 2016
作者: 韦亚一
收藏 | 浏览/下载：134/0 | 提交时间：2018/02/26 |
| 基于遗传算法的光刻机光源掩模优化技术研究 学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者: 杨朝兴
收藏 | 浏览/下载：65/0 | 提交时间：2016/11/28
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| Pixelated Source Mask Optimization Based on Multi Chromosome Genetic Algorithm 期刊论文
光学学报, 2016, 卷号: 36, 期号: 8, 页码: 811001
作者: Yang CX(杨朝兴); Li SK(李思坤); Wang XC(王向朝)
收藏 | 浏览/下载：9/0 | 提交时间：2017/12/25 |
| Source Mask Optimization Based on Dynamic Fitness Function 期刊论文
光学学报, 2016, 卷号: 36, 期号: 1, 页码: 111006
作者: Yang CX(杨朝兴); Li SK(李思坤); Wang XC(王向朝)
收藏 | 浏览/下载：28/0 | 提交时间：2017/12/25 |
| Source Mask Optimization Based on Dynamic Fitness Function 期刊论文
光学学报, 2016, 卷号: 36, 期号: 1, 页码: 111006
作者: Wang XC(王向朝); Yang CX(杨朝兴); Li SK(李思坤)
收藏 | 浏览/下载：14/0 | 提交时间：2017/12/25 |
| Pixelated Source Mask Optimization Based on Multi Chromosome Genetic Algorithm 期刊论文
光学学报, 2016, 卷号: 36, 期号: 8, 页码: 811001
作者: Wang XC(王向朝); Yang CX(杨朝兴); Li SK(李思坤)
收藏 | 浏览/下载：10/0 | 提交时间：2017/12/25 |
| 基于线性规划的光刻机光源优化方法 会议论文
作者: 李思坤; 王磊; 杨朝兴; 王向朝
收藏 | 浏览/下载：13/0 | 提交时间：2017/12/25 |
| 用于制作FBG的紧凑型准分子激光器的研究 期刊论文
红外与激光工程, 2016, 卷号: 045
作者: 张威; 梁勖; 陶汝华; 方晓东
收藏 | 浏览/下载：8/0 | 提交时间：2020/11/25
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