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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 TMA脉冲和吹扫时间对原子层沉积的氧化铝薄膜的影响 期刊论文 功能材料, 2017, 卷号: 48, 页码: 7178-7181 作者:  李春亚[1];  张浩[2];  宋建涛[3];  丁星伟[4];  魏斌[5] 收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2019/04/26 原子层沉积  Al2O3薄膜  三甲基铝  脉冲   加强信息科学建设迎接知识经济挑战 会议论文 中国吉林长春 许华 收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2013/03/19 信息科学:7181  知识经济:5283  经济挑战:3215  信息技术:1962  社会跨越:1180  转型时代:1148  社会生产力:1091  支柱性产业:963  固有观念:877  直接转化:848