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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 专题：上海微系统与信息技术研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Wheatstone bridge piezoresistive sensing for bulk-mode micromechanical resonator 期刊论文 APPLIED PHYSICS LETTERS, 2012, 卷号: 101, 期号: 19, 页码: 193505 Wu, GQ; Xu, DH; Xiong, B; Wang, YL 收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2013/04/23 micromechanical resonators  microsensors  piezoresistive devices   Modeling of Front-Etched Micromachined Thermopile IR Detector by CMOS Technology 期刊论文 JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 2010, 卷号: 19, 期号: 6, 页码: 1331-1340 Xu, DH; Xiong, B; Wang, YL 收藏  |  浏览/下载：22/0  |  提交时间：2011/12/17 STATE TEMPERATURE DISTRIBUTION  THERMOELECTRIC SENSORS  MICROSENSORS  OPTIMIZATION  PERFORMANCE  MEMS