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科研机构
电工研究所 [1]
四川大学 [1]
上海光学精密机械研究... [1]
内容类型
学位论文 [3]
发表日期
2008 [1]
2007 [1]
学科主题
光学工程 [1]
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基于相位图像分析的精密测量技术研究
学位论文
: 四川大学, 2008
作者:
钟耿
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2019/04/19
Position
orientation
phase
reference
pattern
precision
measurement
微纳加工中高精度测量对实现精确定位影响的研究
学位论文
硕士: 中国科学院电工研究所, 2007
1张波,电工研究所
收藏
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浏览/下载:7/0
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提交时间:2010/10/18
微纳加工
双频激光干涉仪
光栅尺
高精度测量
精确定位
误差分析
实时温度补偿 micromanufacture
dual-frequency laser interferometer
grating scale
high-accuracy measurement
precise position
error analysis
基于平面光栅尺的光刻机工件台位置测量技术研究
学位论文
作者:
郑亚忠
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浏览/下载:268/0
  |  
提交时间:2018/12/26
光刻机,工件台,位置测量,平面光栅尺
Lithography tools, Wafer stage, Position measurement, Plane grating encoder
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