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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 内容类型：专利     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 一种提升长期存储半导体硅片产品良率的工艺处理方法 专利 申请日期: 2017-01-01, 公开日期: 2018 作者:  唐昭焕;  杨发顺;  马奎;  林洁馨;  傅兴华 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2020/01/02 半导体硅片  产品良率  甩干  浸泡  存储  长期存储  工艺处理  喷淋  冲洗  双氧水  氨水  半导体器件  电参数变化  烘干处理  混合溶液  去离子水  下降问题  运输过程  水汽  冲水  硅片  烘培  清洗  运输