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基于MEMS技术的梯形悬臂梁密度传感器 会议论文
中国工程热物理学会, 2012
赵立波; 徐龙起; 张桂铭; 黄恩泽; 王晓坡; 宋渤; 蒋庄德; 刘志刚
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基于微悬臂梁的谐振式MEMS密度传感器研究 会议论文
中国工程热物理学会, 2012
张桂铭; 赵立波; 徐龙起; 黄恩泽; 王晓坡; 宋渤; 蒋庄德; 刘志刚
收藏  |  浏览/下载:78/0  |  提交时间:2013/03/20
压阻式谐振微悬臂梁黏度传感器 会议论文
中国工程热物理学会, 2012
张桂铭; 赵立波; 徐龙起; 黄恩泽; 王晓坡; 宋渤; 蒋庄德; 刘志刚
收藏  |  浏览/下载:45/0  |  提交时间:2013/03/20


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