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浏览/检索结果: 共5条，第1-5条 帮助 限定条件 学科主题：半导体器件     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 射频微纳谐振器件的稳定性研究 学位论文 北京: 中国科学院大学, 2018 作者:  王凤翔 收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2018/05/24 Rf Mems谐振器  频率稳定性  真空封装  寄生效应  射频测试   基于洛伦兹力的MEMS大位移驱动器及其应用研究 学位论文 博士, 北京: 中国科学院大学, 2016 吕兴东 收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2016/06/02 MEMS驱动器  洛伦兹力  折叠梁  大位移  可变光衰减器  射频开关   微悬臂梁生化传感器系统集成与检测 学位论文 硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2016 廖驹 收藏  |  浏览/下载：27/0  |  提交时间：2016/06/03 MEMS生化传感器  微悬臂梁  频率检测  微流体控制  传感器系统   AFM扫描探针的研究 学位论文 硕士, 北京: 中国科学院大学, 2016 何欢 收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2016/06/03 扫描探针显微镜  AFM探针  MEMS  微悬臂梁  硅针尖   用于频率参考源的微机械谐振器与振荡器 学位论文 博士, 北京: 中国科学院大学, 2014 赵晖 收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2014/06/03 参考频率源  MEMS 谐振器  高阶谐振模态  振荡器  温度补偿