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科研机构
上海光学精密机械研究... [5]
内容类型
期刊论文 [5]
发表日期
2006 [1]
2005 [4]
学科主题
光学薄膜 [5]
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学科主题:光学薄膜
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制备工艺条件对薄膜微结构的影响
期刊论文
中国激光, 2006, 卷号: 33, 期号: 5, 页码: 673, 678
田光磊
;
申雁鸣
;
沈健
;
邵建达
;
范正修
收藏
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浏览/下载:833/83
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提交时间:2009/09/22
薄膜
X射线衍射
晶相结构
迁移率
扩散激活能
沉积温度对HfO2薄膜残余应力的影响
期刊论文
强激光与粒子束, 2005, 卷号: 17, 期号: 12, 页码: 1812, 1816
申雁鸣
;
贺洪波
;
邵淑英
;
范正修
;
邵建达
收藏
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浏览/下载:576/107
  |  
提交时间:2009/09/22
HfO2薄膜
HfO
2
films
残余应力
Residual stress
沉积温度
Deposition temperature
微结构
Microstructure
X射线衍射
XRD
不同沉积参量下ZrO_2薄膜的微结构和激光损伤阈值
期刊论文
光学学报, 2005, 卷号: 25, 期号: 7, 页码: 994, 998
马平
;
陈松林
;
胡建平
;
胡江川
;
段立华
;
王震
;
邵建达
;
范正修
收藏
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浏览/下载:522/95
  |  
提交时间:2009/09/22
薄膜光学
ZrO2薄膜
X射线衍射
氧压
基体温度
激光损伤
thin film optics
ZrO2 thin film
X-ray diffraction
oxygen partial pressure
substrate temperature
laser damage
退火对ZrO2薄膜微结构及激光损伤阈值的影响
期刊论文
强激光与粒子束, 2005, 卷号: 17, 期号: 2, 页码: 217, 221
田光磊
;
黄建兵
;
贺洪波
;
邵建达
收藏
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浏览/下载:637/158
  |  
提交时间:2009/09/22
退火
Annealing
ZrO2薄膜
ZrO
2
coatings
激光损伤阈值
Laser-induced damage threshold
X射线衍射
XRD
弱吸收
Weak absorption
ZrO2/SiO2多层膜中膜厚组合周期数及基底材料对残余应力的影响
期刊论文
物理学报, 2005, 卷号: 54, 期号: 7, 页码: 3312, 3316
邵淑英
;
范正修
;
邵建达
收藏
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浏览/下载:902/166
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提交时间:2009/09/22
残余应力
ZrO2/SiO2 multilayers
SiO2
residual stress
ZrO2
periods of repeating thickness
多层膜
周期数
组合
膜厚
基底材料
X射线衍射技术
玻璃基底
电子束蒸发
光学干涉仪
应力值
沉积条件
曲率半径
测量分析
石英基底
变化趋势
结构应变
结晶程度
相互作用
折射率
熔石英
压应力
微结构
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