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制备工艺条件对薄膜微结构的影响 期刊论文
中国激光, 2006, 卷号: 33, 期号: 5, 页码: 673, 678
田光磊; 申雁鸣; 沈健; 邵建达; 范正修
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沉积温度对HfO2薄膜残余应力的影响 期刊论文
强激光与粒子束, 2005, 卷号: 17, 期号: 12, 页码: 1812, 1816
申雁鸣; 贺洪波; 邵淑英; 范正修; 邵建达
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不同沉积参量下ZrO_2薄膜的微结构和激光损伤阈值 期刊论文
光学学报, 2005, 卷号: 25, 期号: 7, 页码: 994, 998
马平; 陈松林; 胡建平; 胡江川; 段立华; 王震; 邵建达; 范正修
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退火对ZrO2薄膜微结构及激光损伤阈值的影响 期刊论文
强激光与粒子束, 2005, 卷号: 17, 期号: 2, 页码: 217, 221
田光磊; 黄建兵; 贺洪波; 邵建达
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ZrO2/SiO2多层膜中膜厚组合周期数及基底材料对残余应力的影响 期刊论文
物理学报, 2005, 卷号: 54, 期号: 7, 页码: 3312, 3316
邵淑英; 范正修; 邵建达
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