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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 限定条件 发表日期：2019     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 压电促动器的纳米级精度控制及其在光刻物镜中的应用研究 学位论文 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019 作者:  李朋志 收藏  |  浏览/下载：7/0  |  提交时间：2020/08/24 光刻物镜  压电促动器  迟滞  模糊  运动控制  像差补偿   大视场纳型星敏光学系统公差灵敏度研究 期刊论文 光子学报, 2019, 卷号: 48, 期号: 05, 页码: 77-88 作者:  张坤;  钟兴;  孟遥;  刘江 收藏  |  浏览/下载：6/0  |  提交时间：2020/08/24 纳型星敏感器  公差灵敏度  光焦度分配  曲率  小像差相互补偿  大视场  公差分析   一种针对超大口径凸非球面的面形检测方法 期刊论文 中国光学, 2019, 卷号: 12, 期号: 05, 页码: 1147-1154 作者:  张海东;  王孝坤;  薛栋林;  张学军 收藏  |  浏览/下载：7/0  |  提交时间：2020/08/24 面形检测  非球面  像差补偿  衍射光学元件