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浏览/检索结果: 共8条，第1-8条 帮助 限定条件 专题：上海光学精密机械研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Pixelated source optimization for optical lithography via particle swarm optimization 期刊论文 J. Micro-Nanolithogr. MEMS MOEMS, 2016, 卷号: 15, 期号: 1 作者:  Wang, Lei;  Li, Sikun;  Wang, Xiangzhao;  Yan, Guanyong;  Yang, Chaoxing 收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2017/12/25 Pixelated source optimization for optical lithography via particle swarm optimization 期刊论文 J. Micro-Nanolithogr. MEMS MOEMS, 2016, 卷号: 15, 期号: 1 作者:  Li, Sikun;  Yang, Chaoxing;  Wang, Lei;  Yan, Guanyong;  Wang, Xiangzhao 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2017/12/25 Pixel-based mask optimization via particle swarm optimization algorithm for inverse lithography 会议论文 作者:  Wang, Xiangzhao;  Tang, Feng;  Yang, Chaoxing;  Li, Sikun;  Wang, Lei 收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2017/12/25 Pixel-based mask optimization via particle swarm optimization algorithm for inverse lithography 会议论文 作者:  Yang, Chaoxing;  Li, Sikun;  Wang, Xiangzhao;  Wang, Lei;  Tang, Feng 收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2017/12/25 Source Optimization using Particle Swarm Optimization Algorithm in Photolithography 会议论文 conference on optical microlithography xxviii 作者:  Wang, Lei;  Li, Sikun;  Wang, Xiangzhao;  Yan, Guanyong;  Yang, Chaoxing 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2016/11/28 Efficient source mask optimization using multipole source representation 期刊论文 j. micro-nanolithogr. mems moems, 2014, 卷号: 13, 期号: 4, 页码: 43001 作者:  Yang, Chaoxing;  Li, Sikun;  Wang, Xiangzhao 收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2016/11/28 source mask optimization  genetic algorithm  source representation  pupil filling ratio   Efficient source mask optimization using multipole source representation 期刊论文 j. micro-nanolithogr. mems moems, 2014, 卷号: 13, 期号: 4, 页码: 43001 作者:  Yang, Chaoxing;  Li, Sikun;  Wang, Xiangzhao 收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2016/11/28 source mask optimization  genetic algorithm  source representation  pupil filling ratio   Source Mask Optimization Using Real-Coded Genetic Algorithms 会议论文 conference on optical microlithography xxvi 作者:  Yang, Chaoxing;  Wang, Xiangzhao;  Li, Sikun;  Erdmann, Andreas 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2016/11/28