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浏览/检索结果: 共7条，第1-7条 帮助 限定条件 专题：上海光学精密机械研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 In situ surface topography measurement method of granite base in scanning wafer stage with laser interferometer 期刊论文 optik, 2012, 卷号: 119, 期号: 1 He, L (He, Le); Wang, XZ (Wang, Xiangzhao); Shi, WJ (Shi, Weijie) 收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2013/09/17 In situ surface topography measurement method of granite base in scanning wafer stage with laser interferometer 期刊论文 optik, 2012, 期号: 1 He, L (He, Le); Wang, XZ (Wang, Xiangzhao); Shi, WJ (Shi, Weijie) 收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2013/09/17 In situ surface topography measurement method of granite base in scanning wafer stage with laser interferometer 期刊论文 optik, 2008, 卷号: 119, 期号: 1, 页码: 1, 6 He Le; 王向朝; Shi Weijie 收藏  |  浏览/下载：925/143  |  提交时间：2009/09/18 laser interferometer  topography measurement  least squares method  scanning wafer stage  lithographic tool   A novel method for measuring the coma of a lithographic projection system by use of mirror-symmetry marks 期刊论文 opt. laser technol., 2007, 卷号: 39, 期号: 5, 页码: 922, 925 Zhang Dongqing; 王向朝; Shi Weijie; Wang Fan 收藏  |  浏览/下载：1534/510  |  提交时间：2009/09/18 coma  projection system  lithographic tool   A novel method to determine the FOCAL energy range 期刊论文 chin. opt. lett., 2005, 卷号: 3, 期号: 10, 页码: 589, 592 Dongqing Zhang; 王向朝; Weijie Shi 收藏  |  浏览/下载：1353/250  |  提交时间：2009/09/18 diffraction and gratings  focal-plane-array image processors  instrumentation  measurement  and metrology  optical devices   Flexible Pupil Correction Technology for Photolithography Machine 期刊论文 SIXTH INTERNATIONAL CONFERENCE ON OPTICAL AND PHOTONIC ENGINEERING (ICOPEN 2018), 卷号: 10827 作者:  Zhu Siyu;  Niu Zhiyuan;  Zhang Fang;  Ma Xiaozhe;  Zeng Zongshun 收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2018/12/25 An Excellent Performance Optical System for Freeform Pupil Illumination Module in Immersion Photolithography Machine 期刊论文 SIXTH INTERNATIONAL CONFERENCE ON OPTICAL AND PHOTONIC ENGINEERING (ICOPEN 2018), 卷号: 10827 作者:  Zeng Zongshun;  Niu Zhiyuan;  Zhang Fang;  Ma Xiaozhe;  Zhu Siyu 收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2018/12/25