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科研机构
贵州理工学院 [3]
内容类型
期刊论文 [3]
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2017 [1]
2016 [2]
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氟硅酸盐制取四氟化硅的研究进展
期刊论文
2017, 卷号: 36, 期号: 3, 页码: 859-863
作者:
蔡苗
;
唐安江
;
王乐深
;
何元琴
;
何磊
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浏览/下载:3/0
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提交时间:2019/12/30
四氟化硅
氟硅酸盐
分解
工艺
特殊电子气-四氟化硅分析检测
期刊论文
2016, 卷号: 43, 期号: 5, 页码: 161-162
作者:
何元琴
;
唐安江
;
何磊
;
韦德举
;
蔡苗
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浏览/下载:1/0
  |  
提交时间:2019/12/30
四氟化硅
分析
检测
SixFy与CxFy的研究比较
期刊论文
2016, 卷号: 43, 期号: 5, 页码: 101-102
作者:
何磊
;
唐安江
;
何元琴
;
蔡苗
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浏览/下载:3/0
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提交时间:2019/12/30
SiF2
CF2
SiF4
CF4
物化性质
合成工艺
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