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浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 限定条件 专题：上海大学    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Preparation of alpha-alumina-g-polyacrylamide composite abrasive and chemical mechanical polishing behavior 期刊论文 THIN SOLID FILMS, 2008, 卷号: 516, 页码: 3005-3008 作者:  Lei, Hong[1];  Lu, Haishen[2];  Luo, Jianbin[3];  Lu, Xinchun[4] 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2019/05/06 chemical mechanical polishing  glass substrate  alpha-alumina  graft polymerization  composite abrasive   数字光盘玻璃基片的三步抛光技术 期刊论文 机械工程学报, 2007, 卷号: 43, 页码: 98-102,107 作者:  Lei, Hong[1];  Luo, Jianbin[2];  Lu, Xinchun[3] 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2019/05/10 化学机械抛光  玻璃基片  抛光液  亚纳米级平整   Two-step chemical-mechanical polishing of rigid disk substrate to get atom-scale planarization surface 期刊论文 Chinese Journal of Mechanical Engineering (English Edition), 2006, 卷号: 19, 页码: 496-499 作者:  Lei, Hong[1];  Luo, Jianbin[2];  Lu, Xinchun[3] 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2019/05/10 硅片化学机械抛光中表面形貌问题的研究 期刊论文 润滑与密封, 2006, 页码: 66-68,75 作者:  Wang, Liangliang[1];  Lu, Xinchun[2];  Pan, Guoshun[3];  Huang, Yi[4];  Luo, Jianbin[5] 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2019/05/10 单晶硅片  化学机械抛光  表面形貌